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近日,由中科院長(cháng)春光機所發(fā)光學(xué)及應用國家重點(diǎn)實(shí)驗室大功率半導體激光器課題組佟存柱研究員承擔的中科院知識創(chuàng )新工程領(lǐng)域前沿項目“大功率高亮度光子晶體激光器及列陣”取得了階段性進(jìn)展,他們通過(guò)布拉格反射波導結構成功的將半導體激光快軸(垂直)發(fā)散角從40°降低到7.5°,慢軸(水平)發(fā)散角7.2°,實(shí)現近圓形光束出光。
一直以來(lái),半導體激光器的最大缺點(diǎn)之一是它較大的發(fā)散角,以及橢圓形出光光斑,這導致較差的光束質(zhì)量。而光束質(zhì)量反映的是激光的可匯聚性,直接影響到實(shí)際應用。目前商業(yè)化的半導體激光器均采用全反射波導結構(如圖1(a)),該結構的激光諧振腔狹小,不對稱(chēng),導致快軸發(fā)散角高達30°-60°,慢軸發(fā)散角10°。
研究小組采用雙邊橫向布拉格反射波導結構(如圖1(b)),該結構通過(guò)光子禁帶原理進(jìn)行光學(xué)導波,所限制模式為光學(xué)缺陷模式,可以有效壓縮激光的遠場(chǎng)發(fā)散角。在成功解決了光子晶體缺陷模式與全反射模式競爭、高質(zhì)量厚尺度(>10微米)外延生長(cháng)技術(shù)問(wèn)題后,實(shí)現了該器件室溫連續激射。器件工作于808nm,輸出功率>2W,斜率效率0.531W/A,快、慢軸發(fā)散角被降低到7.5°和7.2°,出光光斑近圓形。
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